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ピエゾステージ

最高1nm分解能をもち,応答性にも優れた超精密ステージです.

外観 製品名/概要 製造元
標準直動ステージ
単軸から最大4軸まで豊富なラインナップを揃えたピエゾステージの基本シリーズです.圧電素子の高速応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により,高速,高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です.
(株)ナノコントロール
開口付きステージ
『開口付きステージ』は,移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです.レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや,顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察,高精度マッピングなどに適しています.
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回転・チルトステージ 
回転・チルトステージは,ピエゾ駆動による微小な角度調整を行うことができます.最大角度変位量は小さいながら,高速応答性,高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング,ミラーアライメント,面合わせなどに最適です.

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対物レンズフォーカス用ステージ
対物レンズフォーカス用ステージは,対物レンズの焦点調整用に専用設計したステージです.顕微鏡や各種の検査・測定装置,観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります.
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超精密加工機用ステージ
超精密加工機用ステージは,精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです.工具の切り込みやワーク(加工物)の移動を高速・高精度に位置制御できます.
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簡易型アクチュエータ
簡易型アクチュエータは,圧電素子を弾性ヒンジ機構に組み込んだ構造のアクチュエータです.変位センサは内蔵しておりません.タップ穴付きで固定や取り外しが簡単に行え,移動ガイドを備えているため真直性の高い動きが得られます.
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インパクトアクチュエータ
インパクトアクチュエータは,圧電アクチュエータを急峻に伸縮させたときの慣性力を利用し,ワーク(対象物)に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです.組み立て途中の部品の微細位置調整や,回転芯出しなどに応用できます.
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汎用向け精密ピエゾステージ
内蔵センサとして『歪みゲージ』を採用した新しいシリーズです.50nm分解能とフィードバック制御で高い位置再現性が得られます.ピエゾのもつ高速応答性はそのままにコストを抑えられます.
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制御コントローラ 
ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです.制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし,ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます.

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ピエゾドライバ
ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです.オープンループで動作させる場合や,大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます.
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