製造元：THKプレシジョン(株)

標準直動ステージは,単軸から最大3軸まで豊富なラインナップを揃えたピエゾステージの基本シリーズです.

圧電素子の高速応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により,高速,高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です.

各軸とも機構の違いにより,「直動駆動機構」と「変位拡大機構」に分かれています.

直接駆動機構

•圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です.
•ストロークを抑えることで分解能,応答性に優れています.
•剛性が高く,負荷が大きくても安定した位置決めができます.

変位拡大機構
•圧電素子の伸長を機械的に増幅する変位拡大機構を介した構造を備えています.
•拡大率により,直接駆動の数倍～十数倍のストロークが達成できます.
•内蔵変位センサによるフィードバック制御で,高い再現性で位置決めが行えます.

製品使用例
•半導体,FPD検査装置
•HDDテスタ
•レーザ光学系アライメント
•干渉系機器
•分析機器
•ナノメータポジショニング

 

製品ラインナップ

X軸　　　　　
直接駆動機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS1H25-006U 6 1 ±1 13000 25×30×16
PS1H35-006U 6 1 ±1 9700 35×35×16
PS1H45-012U 12 1 ±1 6200 45×45×16
PS1H60F-012U 12 1 ±1 4100 60×60×20
PS1H40F-020U 20 1 ±1 4100 48×60×13.5
PS1H60-020U 20 1 ±1 3300 60×60×16
PS1H80-030U 30 1 ±1 1900 80×80×16
PS1H80F-030U 30 1 ±1 1900 80×80×20
変位拡大機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS1L45-030U 30 1 ±1 1500 45×50×20
PS1L40-050U 50 2 ±2 970 40×40×15
PS1L60-060U 60 2 ±2 1300 60×70×20
PS1L40-100U 100 2 ±2 510 40×45×15
PS1L65-250U 250 10 ±10 360 65×65×15
PS1L66-500U 500 20 ±20 200 66×66×17
PS1L80-700U 700 30 ±30 106 80×80×20
           
XY軸　　　　　
直接駆動機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS2H60-012U 12月12日 1/1 ±1/±1 2000 60×80×25
PS2H95-012U 12月12日 1/1 ±1/±1 3800 95×95×25
PS2H60-030U 30/30 1/1 ±1/±1 1600 60×80×30
PS2H110-030U 30/30 1/1 ±1/±1 3400 110×110×25
変位拡大機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS2L50-050U 50/50 2/2 ±2/±2 420 50×50×25
PS2L92-050U 50/50 2/2 ±2/±2 1300 92×92×25
PS2L100-080U 80/80 2/2 ±2/±2 480 100×100×30
PS2L50-100U 100/100 2/2 ±2/±2 280 50×50×25
PS2L60-250U 250/250 10/10 ±10/±10 120 60×60×26
      
Z軸　　　　　
直接駆動機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PSVH35-006U 6 1 ±1 3500 35×35×26
PSVH45-012U 12 1 ±1 2600 45×45×36
PSVH60F-012U 12 1 ±1 1600 60×60×40
PSVH80F-030U 30 1 ±1 1200 80×80×60
変位拡大機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PSVL45-060U 60 2 ±2 570 45×45×32
PSVL45F-100U 100 2 ±2 300 45×45×32
PSVL60-100U 100 2 ±2 380 60×60×32
PSVL60F-100U 100 2 ±2 270 60×60×38
PSVL60F-150U 150 5 ±5 190 60×60×32
PSVL80F-300U 300 10 ±10 180 80×80×38
      
XYZ軸　　　　　
直接駆動機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS3H70-020UA 20/20/12 1/1/1 ±1/±1/±1 970 70×80×65
PS3H120-030U 30/30/30 1/1/1 ±1/±1/±1 740 120×120×30
変位拡大機構     
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PS3L100-080UA 80/80/20 2/2/1 ±2/±2/±1 400 100×100×30
PS3L68-100U 100/100/100 2/2/2 ±2/±2/±2 250 68×68×40