製造元:(株)ナノコントロール

内蔵センサとして『歪みゲージ』を採用した新しいシリーズです.

50nm分解能とフィードバック制御で高い位置再現性が得られます.

ピエゾのもつ高速応答性はそのままにコストを抑えられます.

製品ラインナップ

X軸 
型番 PS1L60-200U-S
ストローク 200μm
分解能 50nm
繰り返し位置決め精度 ±50nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング 2″ / 3″ / 2″
耐荷重 5 N
共振周波数(0g時) 280Hz
剛性 2.0μm/N
リニアリティ ±0.2 %
サイズ 60×60×26[mm]
質量 250 g
本体材質 アルミ(黒アルマイト処理)
Z軸 
型番 PSVL60-200U-S
ストローク 200μm
分解能 50nm
繰り返し位置決め精度 ±50nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング 2″ / 2″ / 2″
耐荷重 5 N
共振周波数(0g時) 230Hz
剛性 2.2μm/N
リニアリティ ±0.2 %
サイズ 60×60×30mm
質量 300 g
本体材質 アルミ(黒アルマイト処理)
XY軸 
型番 PS2L80-200U-S
ストローク (XY) 200 μm
分解能[nm] (XY) 50 nm
繰り返し位置決め精度 [nm] (XY) ±50 nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング 2″ / 3″ / 2″
耐荷重 10 N
共振周波数(0g時)[Hz] 100 Hz
剛性 2.15 μm/N
リニアリティ ±0.2 %
サイズ 80×80×25 mm
質量 350 g
本体材質 アルミ(黒アルマイト処理)
対物レンズフォーカス用 
型番 PFHW**-200U-S
ストローク 200 μm
分解能 50 nm
繰り返し位置決め精度 ±50 nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング 3″ / 2″ / 3″
適用ねじ径 M20.32 / M25 / M26 / M32
共振周波数(0g時) 180 Hz
剛性 2.2μm/N
リニアリティ ±0.2 %
サイズ 74×60×25 mm
質量 200 g
本体材質 アルミ(黒アルマイト処理)