製造元：THKプレシジョン(株)

回転･チルトステージは,ピエゾ駆動による微小な角度調整を行うことができます.

最大角度変位量は小さいながら,高速応答性,高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング,ミラーアライメント,面合わせなどに最適です.

色々な回転軸を持つタイプを揃え,目的に応じて選定可能

 

製品使用例

•レーザ光軸調整
•精密平行面合わせ
•レーザ加工用ミラーアライメント
•光学デバイス微小角調整
•チルト調整
•キャビティ長調整

 

製品ラインナップ

光学ミラー用　　　　　
型番 最大振れ角 分解能 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PT1M36-500S 　 500秒 ≒ 2.4mrad 0.05秒 ≒ 0.24μrad 8000 36×42×29
PT2M40-800S 　 800秒 ≒ 3.9mrad 0.05秒 ≒ 0.24μrad 330 40×60×45
      
チルト・回転　　　　　
チルト     
型番 最大振れ角 分解能 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PT1T60-500S 　 500秒 ≒ 2.4mrad 0.02秒 ≒ 0.10μrad 1800 60×60×30
回転     
型番 最大振れ角 分解能 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PT1C60-800S 　 800秒 ≒ 3.9mrad 0.05秒 ≒0.24μrad 640 60×60×20
PT1C60-1800S 　 1800秒 ≒ 8.7mrad 0.2秒 ≒ 1.0μrad 240 60×70×30
      
ゴニオ　　　　　
型番 最大振れ角 分解能 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PT1G100-300S 　 300秒 ≒ 1.5mrad 0.02秒 ≒ 0.10μrad 260 100×100×30
PT1G100-500S 　 500秒 ≒ 2.4mrad 0.02秒 ≒ 0.10μrad 260 100×100×30
      
傾斜＋昇降　　　　　
型番 最大振れ角 分解能 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PT3V80F-400S 　 ±400秒 ≒±1.9mrad 0.02秒 ≒0.10μrad 270 80×80×32
(Z)100μm (Z)2nm
PT3V100-800S 　 ±800秒 ≒ ±3.9mrad (Z)300μm 0.04秒 ≒ 0.19μrad (Z)10nm 230 100×100×32