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製造元：山下電装（株） 古くから伝わる魔鏡の原理を応用して,超高感度にて鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置で,世界中のシリコンウエーハメーカーにて使用されています.検査は,非接触・非破壊で行うことができ,光学系はメンテナンスフリーです. オプションにて,表面欠陥の自動判定画像処理・自動搬送機構・イメージ記憶・イメージプリント等の機能を追加することが可能です. |
製品の特長
1. 総ての表面状態を瞬時に表現します.
2. 光学系はクラス１に対応しています.
3. 光学系はメンテナンスフリーです.
4. 検査内容により,検出感度変更が可能です.
| 検査サイズ | φ100mmからφ300mmまで各機種 |
| 検査内容 | 平坦度,ディンプル,マウンド,ソーマーク,オレンジピール等 |
| 検査倍率 | 等倍・3倍モード切替（標準装備） |
| 検出感度 | 連続検出感度可変 |
| 使用光源 | 550nm （定照度安定化光源） |
| 検出感度 | 連続検出感度可変 |
| カメラ | 高解像度CCDカメラ |
| ステージ | 手動ステージ（標準仕様） |
用途
| 鏡面ウエハの表面検査 |
| スリップラインの検査 |
| ガラス基板の検査 |
| その他の鏡面基板の検査 |
オプション
| モータ駆動検査ステージ |
| 欠陥自動判定画像処理装置 |
| イメージプリンター |
| 搬送機構 |
※ 常時,弊社にてデモンストレーションが可能です.
※ サンプルをご送付頂き,検査結果をイメージコピーにてご返送することも可能です.
