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表面欠陥検査装置

古くから伝わる魔鏡の原理を応用して,超高感度にて鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置です.
製品に関心をもたれましたら是非お問い合せください.

 

外観 製品名/概要 製造元
表面欠陥検査装置(通常タイプ)

古くから伝わる魔鏡の原理を応用して,超高感度にて鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置で,世界中のシリコンウエーハメーカーにて使用されています.検査は,非接触・非破壊で行うことができ,光学系はメンテナンスフリーです.
山下電装(株)
高倍率表面欠陥検査装置(拡大魔鏡)

YISシリーズの高倍率検査装置で,視野 10mm をモニターに映し出します. 特にエピ処理後に発生するスリップラインの検査で広く使用されています.又,ハードディスク,光学研磨部品の表面検査にも有効です.
山下電装(株)

 

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