光切断機（Z軸測定機）

光切断によるスリット像観察とスポット光像によるＡＦ（オートフォーカス）追従を組み合わせた新しいタイプの深さ高さ測定機です。

光切断の光学系を高度化して読み取り精度を一桁上げたハイミクロンスコープ2型が、光切断光学系のエースとしてユーザーの注目を浴びています。

スリット光を使って深さ高さを.1μｍ単位で無接触測定をする光切断型測定顕微鏡です。厚膜ICの高さ、接着のためのシール剤の高さ、リードフレームピン先のバラツキ高さ変位、円盤上縁面の面取り深さ、etc.

壁面、側面、リング状の内壁面などの断面形状、凹凸面の変位測定がTVモニター画面を見ながら簡単に測定できます。

測定台はXY軸の移動で測定面の位置合わせを行い、θテーブルの回転で、円周内壁面方向が見られ、Z軸で高さ方向の上下移動ができ、Y’軸の微調で凹凸面を1μm単位で測定します。

無接触でタテ、ヨコ、深さ、高さの変位も一緒に測定します。

スリット光を利用し無接触で深さ高さを測定する機能に、新たにタテ・ヨコ方向測定と、測定面の顕微鏡観察機能を加えた、応用範囲の広い3次元測定機です。

■ TVカメラ、TVモニター2台のセットになります。スリット光での断面形状観察と凹凸面の変位測定を含めた3次元測定が素速やく、簡単にできます。

ガラスとガラス、ガラスとプラスティクス、或いは金属板、基板などの２枚の間の空間（スキマ）をミクロン単位で肉眼、あるいはTVモニターを通して無接触測定ができます。

■ スライドテーブルにもマウントできます。

670μｍのレーザ光の明るいスリットで断面像を作り、断面形状観察と凹凸量の変位測定に使います。外観がコンパクトにまとめられますので、測定に使ったり、計測装置にとり付けたりができます。レーザの点灯ライトは20,000Hです。

■ レーザのスリット光が極めて細いのが特長です。
■ 小型軽量なため、液晶モニターとの組み合わせで携帯用としても使えます。
■ 光切断の光学系については豊かな経験とデーターが充分にあります。装置に合せたOEM製品の製作もお受けいたします。

測定物の大形化に合わせ、X方向に260mm、Y方向250mmの範囲が手動で移動できるスライドテーブルと、25×25mm移動のデジタルマイクロメータを付けたX、Y軸1μｍ読みのテーブルを組み合わせセットした経済的なスライドテーブルです。

■ スライドテーブルはX、Y軸共にガイドレールとの組み合わせになっていますので、手で軽く動き、また、クランプによって正確に止まります。
（粗動XY軸）

■ クランプ後の微動テーブルは、25mm移動のマイクロメータでX、Y軸ができます。また、電子マイクロメータの取り付けでデジタル表示の読み取りができます。