製造元：ユニオプト（株）

SBR-03は,ユニオプトが新しく開発した測定原理に基づいた複屈折測定装置です.試料に入射させる偏光状態を変調しながら回転させることによって,試料の複屈折と主軸方位を同時に求めます.測定ダイナミックレンジが広いこと,測定分解能が高いことが特徴です. (特許第3844222号)

 

性能

　 仕様 複屈折位相差 主軸方位角
測定性能 分解能 0.05 nm (at 633 nm) 0.2 deg.
範囲 0 – 180 deg. (0 – 316 nm at 633 nm) ± 90 deg.
繰り返し精度

±0.06 nm (Re = 0 nm)

±0.3 nm (Re = 158 nm)

–

±0.5 deg.
測定速度 Appx. 1 sec. / point
光学系 測定原理 偏光変調回転法
光源 He-Neレーザー (λ=632.8 nm) オプションによりその他の波長も検討致します.
試料ステージ系 固定方法 別途相談(標準走査範囲 : 50 x 50 nm以下) 試料の主軸方位は既知(主軸方位固定)であること.