製造元：ユニオプト（株）

SBR-02は,エリプソメータで用いられている回転偏光子法がベースになっています.光学系は,ほぼSBR-01と同じ構成になっていますが,光源側の偏光子を回転させることで試料の複屈折位相差と主軸方位とを同時に求めることが可能です.

 

性能

　 仕様 複屈折位相差 主軸方位角
測定性能 分解能 0.1 deg. (0.2 nm at 633 nm) 0.1 deg.
範囲 0 – 85 deg. ± 90 deg.
(0 – 150 nm at 633 nm)
繰り返し精度 0.2 deg. (0.4 nm at 633 nm) 0.1 deg.
時間 Appx. 3 sec. / point
光学系 測定原理 回転偏光子法
光源 He-Neレーザー (λ=632.8 nm) オプションによりその他の波長も検討致します.
試料ステージ系 固定方法 別途相談(標準走査範囲 : 50 x 50 nm以下) 試料の主軸方位は既知(主軸方位固定)であること.