■光MEMSスキャナ検査システム

光MEMSデバイス単体の性能評価装置、振り角、共振周波数、ジッタ、ウォブル

型番 【ALT-9A44】
駆動周波数 100Hz～10kHz
ミラーサイズ 1.2×1.2mm以上
測定ビーム速度 4000mm/s以下
ウォブル測定範囲 30分
ジッタ測定 0.0001%
他測定 最大振角、共振周波数、温度

■光MEMSデバイス耐久試験システム

光MEMSデバイス長時間動作による性能変化の計測、1台から数十台の耐久試験対応可能。

対象MEMS 主軸共振40kHz、副軸非共振60Hz
振り角測定範囲 ±6～±30°（光学角）主軸、副軸
振り角分解能 0.2度以下
駆動周波数分解能 0.1Hz
駆動電圧分解能 0.1V

 

■光MEMSデバイス環境試験システム

光MEMSデバイスの周囲温度変動による性能変化の計測、-40℃～150℃対応可能

温度 -40℃～100℃
結露防止 窒素ガス封入簡易チャンバー
温調 カスケード接続ペルチェ素子、チーラー
バーイン 室温～200°
制御 ヒータPID制御
圧力 10～100Pa
構成 小型チャンバー、真空ポンプ

■光MEMS2次元スキャンユニット検査システム

スキャンデバイスの応用ユニットの検査システム、光MEMSミラー、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、その他

ビーム径 0.1～3mm　分解能5μm
ポインタビリティ 0.1～3mm　分解能5μm
レーザパワー、諧調 1～100mW　分解能0.1mW
画像サイズ、歪み 分解能5μm
スキャン周波数 0.0001%
他測定 主軸1～50KHz、副軸10～100Hz

 

■MEMS装着調整システム

ピコプロジェクタエンジンにおけるMEMSデバイスの調整組立装置

調整範囲 光学角±6～30度　分解能0.1度以下
基準レーザ ALT-3310相当
MEMS調整 手動/自動
接着 ディスペンサー、UV光源

 

■RGB合波調整システム

ピコプロジェクタエンジンにおけるRGB合波ユニットの調整組立装置

ビーム径 20～200μm　分解能5μm
ビーム位置 ±3.8mm　分解能5μm
基準レーザ ALT-3310相当
コリメータ調整 手動/自動
接着 ディスペンサー、UV光源

 

■スキャナ応用製品検査評価システム

レーザースキャンデバイス応用製品の検査評価装置

 

■色彩、輝度評価システム

レーザー応用ユニットにおける簡易型色彩、輝度評価装置

輝度Y 0.05～500,000cd/㎡
色度xy CIE1931等色関数に近似
コントラスト 10,000,000以上
最大サンプリング 18KHz
精度 0.20%