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超音波モータステージ

数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです.

 

外観 製品名/概要 製造元
超音波モータステージ
数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです.SPPA超音波モータの採用により,低発熱,摩擦保持による高い安定性を備えています.
(株)ナノコントロール
制御コントローラ
駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した,超音波モータステージ専用のコントローラです.最大3軸までの制御が可能です.制御インターフェースとしてRS232Cを備えており,PCと接続してすぐに動作可能です.
(株)ナノコントロール

 

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