製造元：コスモ技研（株）

ダイシングテープ剥離用UV装置です。８インチ用、１２インチ用の２種類あります。
メタルハライドランプを採用し高照度を実現しています。
窒素パージ機構を標準装備します。UV-LEDタイプ、ローダータイプもそろえています。