製造元：THKプレシジョン(株)

数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです.

SPPA超音波モータの採用により,低発熱,摩擦保持による高い安定性を備えています.

超音波モーターステージの機構

 

特徴

 

• リニアスケール内蔵で高い位置再現性
• 摩擦保持され静止時の安定性が高い
• 真空・非磁性 環境に対応
• 自己発熱が小さい
• RS232C通信で制御が容易

 

対応範囲

高い位置決め再現性を求める光学実験や,分析・測定機器に使い易い領域をカバーします.

 

 

製品使用例

•光学系の高精度位置決め
•顕微鏡試料テーブル
•X線/分析,測定機器
•レーザーアライメント

 

製品ラインナップ

 

X軸

型番 TS1L80-015A TS1L120-035A
ストローク 15mm 35mm
分解能 20nm 20nm
繰り返し位置決め精度 ±20nm ±20nm
ピッチング / ヨーイング / ローリング 15″ / 15″ / 15″ 20″ / 20″ / 20″
最大移動速度 10mm/sec 10mm/sec
耐荷重 2kg 3kg
推力 2N 2N
内蔵変位センサ リニアスケール リニアスケール
移動ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
本体質量 500g 1kg
本体材質（表面処理） アルミ（黒アルマイト） アルミ（黒アルマイト）

 

開口付きXY軸

型番 TS2L180-015A
ストローク 15mm×15mm
分解能 20nm
繰り返し位置決め精度 ±20nm
ピッチング / ヨーイング / ローリング 20″ / 20″ / 20″
最大移動速度 10mm/sec
耐荷重 3kg
推力 2N
内蔵変位センサ リニアスケール
移動ガイド クロスローラガイド
本体質量 3.2kg
本体材質（表面処理） アルミ（黒アルマイト）

 

回転　
型番 TS1R150-360A
回転角度 360°
分解能 1″以下
繰り返し位置決め精度 ±1″以下
最大移動速度 5°/sec
耐荷重 3kg
推力 0.1N･m
内蔵変位センサ ロータリーエンコーダ
移動ガイド ベアリング
本体質量 1.9kg
本体材質（表面処理） アルミ（黒アルマイト）