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製造元：THKプレシジョン(株) 内蔵センサとして『歪みゲージ』を採用した新しいシリーズです. 50nm分解能とフィードバック制御で高い位置再現性が得られます. ピエゾのもつ高速応答性はそのままにコストを抑えられます. |
製品ラインナップ
| X軸 | |
| 型番 | PS1L60-200U-S |
| ストローク | 200μm |
| 分解能 | 50nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±50nm |
| ピッチング/ヨーイング/ローリング | 2″ / 3″ / 2″ |
| 耐荷重 | 5 N |
| 共振周波数（0g時） | 280Hz |
| 剛性 | 2.0μm/N |
| リニアリティ | ±0.2 % |
| サイズ | 60×60×26[mm] |
| 質量 | 250 g |
| 本体材質 | アルミ（黒アルマイト処理） |
| Z軸 | |
| 型番 | PSVL60-200U-S |
| ストローク | 200μm |
| 分解能 | 50nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±50nm |
| ピッチング/ヨーイング/ローリング | 2″ / 2″ / 2″ |
| 耐荷重 | 5 N |
| 共振周波数（0g時） | 230Hz |
| 剛性 | 2.2μm/N |
| リニアリティ | ±0.2 % |
| サイズ | 60×60×30mm |
| 質量 | 300 g |
| 本体材質 | アルミ（黒アルマイト処理） |
| XY軸 | |
| 型番 | PS2L80-200U-S |
| ストローク | (XY) 200 μm |
| 分解能[nm] | (XY) 50 nm |
| 繰り返し位置決め精度 [nm] | (XY) ±50 nm |
| ピッチング/ヨーイング/ローリング | 2″ / 3″ / 2″ |
| 耐荷重 | 10 N |
| 共振周波数（0g時）[Hz] | 100 Hz |
| 剛性 | 2.15 μm/N |
| リニアリティ | ±0.2 % |
| サイズ | 80×80×25 mm |
| 質量 | 350 g |
| 本体材質 | アルミ（黒アルマイト処理） |
| 対物レンズフォーカス用 | |
| 型番 | PFHW**-200U-S |
| ストローク | 200 μm |
| 分解能 | 50 nm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±50 nm |
| ピッチング/ヨーイング/ローリング | 3″ / 2″ / 3″ |
| 適用ねじ径 | M20.32 / M25 / M26 / M32 |
| 共振周波数（0g時） | 180 Hz |
| 剛性 | 2.2μm/N |
| リニアリティ | ±0.2 % |
| サイズ | 74×60×25 mm |
| 質量 | 200 g |
| 本体材質 | アルミ（黒アルマイト処理） |
