製造元：山下電装（株）
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◆波長選択楕円ミラー 使用する波長領域(DUV,UV,全波長)により,楕円ミラーを選択します.波長選択平面ミラー,フィルターも併せて使用することにより,ナローバンドの照射スペクトルが得られます. |
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◆波長選択平面ミラー
使用する波長領域(DUV,UV,全波長)により,平面ミラーを選択します.波長選択楕円ミラー,フィルターも併せて使用することにより,ナローバンドの照射スペクトルが得られます. |
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◆波長選択フィルター 波長選択楕円ミラー,平面ミラーを併せて使用することにより,ナローバンドの照射スペクトルが得られます. （254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm） |
