製造元:(株)ラステック

 

レーザ加工システム事例

「レーザー微細加工装置」

ガルバノスキャナと高精度XYステージの組合せにより広範囲を高速に加工可能な装置です. 同軸観察システムの搭載で高精細な加工観察が可能です.各種レーザー発振器の搭載が可能です.

「レーザーリペア装置」

マスクや電子回路の欠陥個所をレーザーにより除去し修正する装置です. 顕微鏡システムにレーザー光を導入し,加工を行います.矩形スリットを搭載しており任意のサイズの矩形加工を行うことが可能です.各種レーザー発振器の搭載が可能です.

「ガルバノスキャナーユニット(レーザー発振器組込み型)」

レーザー発振器とガルバノスキャナ,fθレンズ等の光学系をコンパクトに一体化したスキャナユニットです.

「レーザー同軸観察ユニット」

加工用レーザー光と同軸上で加工対象物を観察するための光学ユニットです.ケーラー照明によりワークを均一に照らします.

「ビームスポットプロファイラ」

高倍率の対物レンズを用い,ビームスポットを拡大して測定するユニットです.

「マルチスポット光学ユニット」

1つのレーザービームを複数に分割・集光し,同時に複数の加工を行う光学ユニットです.

 

「大出力レーザー減衰ユニット」

KW級レーザーをサブmWまで減衰しビームプロファイル測定などを容易に行えるようにする減衰ユニットです.

   

「レーザーマーカー」

★加工用途に合わせたカスタマイズ対応 ★加工目的に最適なレーザー発振器搭載可能 ★加工実験用途から生産装置まで対応 ★XYステージ/ガルバノ併用加工